Le japonais Nikon présente la série NEXIV VMF-K, un système de mesure vidéo haute-performance qui améliore considérablement le débit de mesure dans le secteur des semiconducteurs et des composants électroniques.

La série NEXIV VMF-K de Nikon fournit des mesures stables des dimensions au niveau du micron tout en améliorant considérablement le débit, soutenant ainsi le contrôle qualité dans la fabrication des dispositifs semi-conducteurs.

Équipée d’un système optique confocal, la série VMF-K permet simultanément la mesure 2D et la mesure de la hauteur dans le champ de vision, ce qui permet d’obtenir un débit considérablement supérieur à celui obtenu dans le cas de la mesure de la hauteur à l’aide d’images à fond clair uniquement. Le changement de source de lumière confocale d’une lampe au xénon à une DEL, entraîne une augmentation de la durée de vie de 3 000 heures à 30 000 heures.

Cette amélioration augmente l’efficacité opérationnelle et réduit le besoin de remplacer des lampes. La série inclut maintenant un objectif 45x standardisé, qui prend en charge les exigences de mesure avancée de semiconducteurs, même pour les mesures plus précises. La série VMF-K répond aux normes de sécurité industrielle pour les équipements de fabrication des semiconducteurs lorsqu’elle est installée correctement conformément aux directives SEMI S2/S8.