L’américain Posifa Technologies, connu auparavant sous le nom de Posifa Microsystems et fabricant de capteurs économiques, vient de lancer la série de capteurs de vide à thermopile Mems PVC3000, en complément de la série PVC1000.

Les capteurs de nouvelle génération PVC3000 améliorent l’étendue de mesure effective, qui va désormais de 1 millitorr à 760 torr, soit de 0,13 Pa à 101 kPa, ce qui permet de s’affranchirde l’ajout d’un capteur de pression piézorésistif ou capacitif supplémentaire et de réduire les coûts globaux de la solution.

Les concepteurs peuvent ainsi remplacer deux composants par un seul dans les jauges à vide, pour les applications CVC et industrielles. Rappelons que les capteurs de vide Pirani sont plafonnés à environ 30 torr – c’est le cas des modèles PVC1000. Pour mesurer le vide au-dessus de cette valeur, un capteur de pression piézorésistif ou capacitif supplémentaire est nécessaire.

Pour améliorer encore un peu plus la fiabilité, Posifa Technologies a par ailleurs repensé la microstructure de ses capteurs, afin de les rendre plus robustes et plus résistants aux pics de pression et aux nettoyages. La société a d’ailleurs migré vers une production en Cmos, ce qui a également permis d'améliorer la répétabilité, l'uniformité et l'évolutivité.

Parmi les autres spécifications, citons un temps de réponse typique de 2 ms, une consommation typique de 45 mW, voire de 5 mW avec une excitation de 10 Hz, une plage de température de -25 à +85 °C, la disponibilité sous la forme d’un boîtier métallique TO5 (PVC3001) ou TO46 (PVC3004).